Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/65308| Title: | Изучение границы раздела фаз в структуре Ti-Si с применением Xe маркера |
| Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович Глухатаренко, Т. И. |
| Keywords: | метод ИАНПУС ионная бомбардировка ионно-ассистированное нанесение методика введения Хе маркера |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Бобрович, О. Г. Изучение границы раздела фаз в структуре Ti-Si с применением Xe маркера / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, Т. И. Глухатаренко // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - 2005. - Вып. XIII. - С. 90-92. - Библиогр.: 5 назв. |
| Abstract: | Статья посвящена проблемам осаждения тонких покрытий на изделия и материалы. Предложена методика введения Хе маркера для определения положения реальной межфазной границы в структуре покрытие - подложка, что позволяет выявить процессы диффузии элементов покрытия в глубь подложки и встречной диффузии элементов подложки в покрытие. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/65308 |
| Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2005 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Бобрович О. Г. Изучение.pdf | 320.61 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.