Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67499| Название: | Глубокая очистка технологических газов от влаги и кислорода методом барботирования через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии |
| Авторы: | Алипчиков, С. М. Вихренко, Вячеслав Степанович Наркевич, Иван Иванович Рыжанков, М. А. Щурин, В. Н. |
| Ключевые слова: | очистка технологических газов очистка газов от влаги очистка барботажем метод барботирования глубокая очистка технологических газов |
| Дата публикации: | 1991 |
| Библиографическое описание: | Глубокая очистка технологических газов от влаги и кислорода методом барботирования через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии / С. М. Алипчиков [и др.] // Высокочистые вещества. - 1991. - № 6. - С. 158-162. |
| Краткий осмотр (реферат): | Исследован процесс глубокой очистки технологических газов для нужд микроэлектроники от водяного пара и кислорода барботажем через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии. Показано, что при увеличении газовой нагрузки на аппарат возможно резкое уменьшение степени очистки газовой смеси. Приведены рекомендации по изменению конструкции аппарата и технологического режима для обеспечения необходимой степени очистки газов при возрастании нагрузки на аппарат. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67499 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи в зарубежных изданиях |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Глубокая очистка.pdf | 292.8 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.