1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Статьи ученых БГТУ
  3. Статьи в зарубежных изданиях
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67499
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАлипчиков, С. М.-
dc.contributor.authorВихренко, Вячеслав Степанович-
dc.contributor.authorНаркевич, Иван Иванович-
dc.contributor.authorРыжанков, М. А.-
dc.contributor.authorЩурин, В. Н.-
dc.date.accessioned2024-09-26T13:31:47Z-
dc.date.available2024-09-26T13:31:47Z-
dc.date.issued1991-
dc.identifier.citationГлубокая очистка технологических газов от влаги и кислорода методом барботирования через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии / С. М. Алипчиков [и др.] // Высокочистые вещества. - 1991. - № 6. - С. 158-162.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/67499-
dc.description.abstractИсследован процесс глубокой очистки технологических газов для нужд микроэлектроники от водяного пара и кислорода барботажем через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии. Показано, что при увеличении газовой нагрузки на аппарат возможно резкое уменьшение степени очистки газовой смеси. Приведены рекомендации по изменению конструкции аппарата и технологического режима для обеспечения необходимой степени очистки газов при возрастании нагрузки на аппарат.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.subjectочистка технологических газовru
dc.subjectочистка газов от влагиru
dc.subjectочистка барботажемru
dc.subjectметод барботированияru
dc.subjectглубокая очистка технологических газовru
dc.titleГлубокая очистка технологических газов от влаги и кислорода методом барботирования через эвтектический раствор алюминия и индия в галлииru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc66.071.6-
Appears in Collections:Статьи в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Глубокая очистка.pdf292.8 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.