Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67499Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Алипчиков, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Вихренко, Вячеслав Степанович | - |
| dc.contributor.author | Наркевич, Иван Иванович | - |
| dc.contributor.author | Рыжанков, М. А. | - |
| dc.contributor.author | Щурин, В. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2024-09-26T13:31:47Z | - |
| dc.date.available | 2024-09-26T13:31:47Z | - |
| dc.date.issued | 1991 | - |
| dc.identifier.citation | Глубокая очистка технологических газов от влаги и кислорода методом барботирования через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии / С. М. Алипчиков [и др.] // Высокочистые вещества. - 1991. - № 6. - С. 158-162. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67499 | - |
| dc.description.abstract | Исследован процесс глубокой очистки технологических газов для нужд микроэлектроники от водяного пара и кислорода барботажем через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии. Показано, что при увеличении газовой нагрузки на аппарат возможно резкое уменьшение степени очистки газовой смеси. Приведены рекомендации по изменению конструкции аппарата и технологического режима для обеспечения необходимой степени очистки газов при возрастании нагрузки на аппарат. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | очистка технологических газов | ru |
| dc.subject | очистка газов от влаги | ru |
| dc.subject | очистка барботажем | ru |
| dc.subject | метод барботирования | ru |
| dc.subject | глубокая очистка технологических газов | ru |
| dc.title | Глубокая очистка технологических газов от влаги и кислорода методом барботирования через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 66.071.6 | - |
| Располагается в коллекциях: | Статьи в зарубежных изданиях | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Глубокая очистка.pdf | 292.8 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.