Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67499| Title: | Глубокая очистка технологических газов от влаги и кислорода методом барботирования через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии |
| Authors: | Алипчиков, С. М. Вихренко, Вячеслав Степанович Наркевич, Иван Иванович Рыжанков, М. А. Щурин, В. Н. |
| Keywords: | очистка технологических газов очистка газов от влаги очистка барботажем метод барботирования глубокая очистка технологических газов |
| Issue Date: | 1991 |
| Citation: | Глубокая очистка технологических газов от влаги и кислорода методом барботирования через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии / С. М. Алипчиков [и др.] // Высокочистые вещества. - 1991. - № 6. - С. 158-162. |
| Abstract: | Исследован процесс глубокой очистки технологических газов для нужд микроэлектроники от водяного пара и кислорода барботажем через эвтектический раствор алюминия и индия в галлии. Показано, что при увеличении газовой нагрузки на аппарат возможно резкое уменьшение степени очистки газовой смеси. Приведены рекомендации по изменению конструкции аппарата и технологического режима для обеспечения необходимой степени очистки газов при возрастании нагрузки на аппарат. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67499 |
| Appears in Collections: | Статьи в зарубежных изданиях |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Глубокая очистка.pdf | 292.8 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.