Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573| Название: | Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме |
| Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Ключевые слова: | ионно-ассистируемое осаждение в вакууме осаждение металлосодержащих покрытий метод резерфордовского обратного рассеяния метод ядерных реакций покрытия на основе металла поверхности структур металл/кремний |
| Дата публикации: | 2024 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Тульев, В. В. Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 88-й науч.-техн. конф. профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 29 января – 16 февраля 2024 г. – Минск: БГТУ, 2024. – С. 254-257. |
| Краткий осмотр (реферат): | В работе рассмотрены вопросы изучения поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Изучение.pdf | 473.74 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.