Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
| dc.date.accessioned | 2024-10-03T09:03:25Z | - |
| dc.date.available | 2024-10-03T09:03:25Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Тульев, В. В. Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 88-й науч.-техн. конф. профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 29 января – 16 февраля 2024 г. – Минск: БГТУ, 2024. – С. 254-257. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573 | - |
| dc.description.abstract | В работе рассмотрены вопросы изучения поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | ионно-ассистируемое осаждение в вакууме | ru |
| dc.subject | осаждение металлосодержащих покрытий | ru |
| dc.subject | метод резерфордовского обратного рассеяния | ru |
| dc.subject | метод ядерных реакций | ru |
| dc.subject | покрытия на основе металла | ru |
| dc.subject | поверхности структур металл/кремний | ru |
| dc.title | Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 539.1.06:539.23.234 | - |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Изучение.pdf | 473.74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.