Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573
Title: Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме
Authors: Тульев, Валентин Валентинович
Keywords: ионно-ассистируемое осаждение в вакууме
осаждение металлосодержащих покрытий
метод резерфордовского обратного рассеяния
метод ядерных реакций
покрытия на основе металла
поверхности структур металл/кремний
Issue Date: 2024
Publisher: БГТУ
Citation: Тульев, В. В. Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 88-й науч.-техн. конф. профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 29 января – 16 февраля 2024 г. – Минск: БГТУ, 2024. – С. 254-257.
Abstract: В работе рассмотрены вопросы изучения поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573
Appears in Collections:материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Тульев_Изучение.pdf473.74 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.