Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573| Title: | Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме |
| Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | ионно-ассистируемое осаждение в вакууме осаждение металлосодержащих покрытий метод резерфордовского обратного рассеяния метод ядерных реакций покрытия на основе металла поверхности структур металл/кремний |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Тульев, В. В. Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 88-й науч.-техн. конф. профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 29 января – 16 февраля 2024 г. – Минск: БГТУ, 2024. – С. 254-257. |
| Abstract: | В работе рассмотрены вопросы изучения поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67573 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Изучение.pdf | 473.74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.