Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67626| Title: | Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий |
| Authors: | Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Keywords: | ионно-ассистированное осаждение осаждение покрытий покрытия саморадиация тонкие пленки энергосберегающие электроды |
| Issue Date: | 2000 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Ташлыков, И. С. Ионно-ассистированное в условиях саморадиации осаждение покрытий / И. С. Ташлыков // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 4. Физико-математические науки и информатика. - 2000. - Вып. 8. - С. 119-129. - Библиогр.: 27 назв. |
| Abstract: | Сообщается о развитии структуры и состава пленок на основе металлов на подложке, сформированной путем самоионного осаждения металла (Me-Ti, Cr, Zr, MO, W) на кремний, алюминий и алюминиевые сплавы, сталь, эластомер с использованием метода, в котором осаждение Me сопровождалось бомбардировкой 5, 10 или 20 кэВ. Анализ проводился с использованием методов RBS, TEM, EDS, SIMS, PIN, PULL TEST и NMA. Установлено, что пленки имеют равномерную толщину, являются аморфными в области интерфейса и включают небольшие (до 10 нм) поликристаллические выделения Me. Элементный анализ покрытий показывает высокое содержание кислорода, углерода, водорода и элементов из подложки. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67626 |
| Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2000 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ташлыков, И. С. Ионно-ассистированное в условиях.pdf | 982.81 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.