Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/67626
Название: | Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий |
Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович |
Ключевые слова: | ионно-ассистированное осаждение осаждение покрытий покрытия саморадиация тонкие пленки энергосберегающие электроды |
Дата публикации: | 2000 |
Издательство: | БГТУ |
Библиографическое описание: | Ташлыков, И. С. Ионно-ассистированное в условиях саморадиации осаждение покрытий / И. С. Ташлыков // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 4. Физико-математические науки и информатика. - 2000. - Вып. 8. - С. 119-129. - Библиогр.: 27 назв. |
Краткий осмотр (реферат): | Сообщается о развитии структуры и состава пленок на основе металлов на подложке, сформированной путем самоионного осаждения металла (Me-Ti, Cr, Zr, MO, W) на кремний, алюминий и алюминиевые сплавы, сталь, эластомер с использованием метода, в котором осаждение Me сопровождалось бомбардировкой 5, 10 или 20 кэВ. Анализ проводился с использованием методов RBS, TEM, EDS, SIMS, PIN, PULL TEST и NMA. Установлено, что пленки имеют равномерную толщину, являются аморфными в области интерфейса и включают небольшие (до 10 нм) поликристаллические выделения Me. Элементный анализ покрытий показывает высокое содержание кислорода, углерода, водорода и элементов из подложки. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/67626 |
Располагается в коллекциях: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2000 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Ташлыков, И. С. Ионно-ассистированное в условиях.pdf | 982.81 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.