Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/73602| Title: | Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме |
| Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | структуры металл/кремний ионно-ассистируемое осаждение осаждение металлосодержащих покрытий поверхность структур металл/кремний осаждение покрытий |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Тульев, В. В. Изучение поверхности структур металл/кремний, полученных ионно-ассистируемым осаждением покрытий в вакууме / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 89-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 3-18 февраля 2025 г. - Минск : БГТУ, 2025. – С. 351-354. |
| Abstract: | Методом ионно-ассистируемого осаждения получены Ti/Si, Zr/Si и Mо/Si-структуры. Исследования поверхности Me/Si-структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением металлсодержащих покрытий, с примене-нием методов резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в со-четании с моделирование RUMP и резонансных ядерных реакций, по-казали, что сформированные структуры содержат атомы осажденного металла (5‒10 ат. %), атомы кремния из подложки (10‒15 ат. %) и атомы технологических примесей: водорода (3‒15 ат. %), углерода (20‒25 ат. %) и кислорода (10‒15 ат. %). Источником технологических примесей является летучая фракция углеводородов вакуумного масла диффузионного паромасляного насоса. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/73602 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Изучение.pdf | 356.1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.