Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/74252| Title: | Композиционный состав приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением атомов титана и кобальта на кремнии с ксеноновым маркером |
| Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | композиционный состав приповерхностных слоев ионно-ассистируемое осаждение титан кобальт кремний метод ядерных реакций ксеноновый маркер металлосодержащие покрытия |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Тульев, В. В. Композиционный состав приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением атомов титана и кобальта на кремнии с ксеноновым маркером / В. В. Тульев // Информационные технологии. Физика и математика : материалы 90-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 2-20 февраля 2026 г. - Минск : БГТУ, 2026. – С. 231-233. |
| Abstract: | На первом этапе в приповерхностные слои подготовленных образцов из кремния были внедрены атомы ксенона методом ионной имплантации. Ксеноновый маркер применялся для установления границы раздела покрытие/подложка. На втором этапе на образцы кремния с ксеноновым маркером наносились покрытия на основе Ti и Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Послойный элементный анализ проводился методом резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия в сочетание с компьютерным моделированием RUMP. Определения содержания водорода в полученных структурах было проведено с помощью метода ядерных реакций (ЯР). |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/74252 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Композиционный.pdf | 349.41 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.