Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo

Abstract

На пластины кремния методом ионно-ассистируемого осаждения наносились металлсодержащие покрытия на основе Ti, Co, Zr и Mo. Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с компьютерным моделированием установлено, что на поверхности кремния формируются покрытия, содержащие атомы осажденного покрытия (Ti, Co, Zr и Mo), атомы технологических примесей (C, O, Н), атомы из подложки (Si). Методом наноиндентирования обнаружено, что на поверхности кремния формируется покрытие с повышенной нанотвердостью, значение которой превышает в 3–10 раз нанотвердость поверхности исходного кремния, а модуль Юнга для покрытий уменьшается по сравнению с модулем Юнга поверхности исходного кремния. При увеличении глубины индентирования нанотвердость и модуль Юнга покрытий, осажденных на кремний, приближаются к нанотвердости и модулю Юнга поверхности немодифицированного кремния.