Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/24452
Title: | Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo |
Authors: | Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, С. М. |
Keywords: | ионно-ассистируемое осаждение металлсодержащие покрытия резерфордовское обратное рассеяние компьютерное моделирование элементный состав кремний модуль Юнга Юнга, модуль |
Issue Date: | 2010 |
Publisher: | БГТУ |
Citation: | Тульев, В. В. Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2010. – С. 91-95. |
Abstract: | На пластины кремния методом ионно-ассистируемого осаждения наносились металлсодержащие покрытия на основе Ti, Co, Zr и Mo. Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с компьютерным моделированием установлено, что на поверхности кремния формируются покрытия, содержащие атомы осажденного покрытия (Ti, Co, Zr и Mo), атомы технологических примесей (C, O, Н), атомы из подложки (Si). Методом наноиндентирования обнаружено, что на поверхности кремния формируется покрытие с повышенной нанотвердостью, значение которой превышает в 3–10 раз нанотвердость поверхности исходного кремния, а модуль Юнга для покрытий уменьшается по сравнению с модулем Юнга поверхности исходного кремния. При увеличении глубины индентирования нанотвердость и модуль Юнга покрытий, осажденных на кремний, приближаются к нанотвердости и модулю Юнга поверхности немодифицированного кремния. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/24452 |
Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2010 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
tul'ev_jelementnyj.pdf | 3.07 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.