Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/24452
Title: Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo
Authors: Тульев, Валентин Валентинович
Ташлыков, Игорь Серафимович
Барайшук, С. М.
Keywords: ионно-ассистируемое осаждение
металлсодержащие покрытия
резерфордовское обратное рассеяние
компьютерное моделирование
элементный состав
кремний
модуль Юнга
Юнга, модуль
Issue Date: 2010
Publisher: БГТУ
Citation: Тульев, В. В. Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Труды БГТУ. Сер. VI, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2010. – Вып. XVIII. – С. 91-95.
Abstract: На пластины кремния методом ионно-ассистируемого осаждения наносились металлсодержащие покрытия на основе Ti, Co, Zr и Mo. Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с компьютерным моделированием установлено, что на поверхности кремния формируются покрытия, содержащие атомы осажденного покрытия (Ti, Co, Zr и Mo), атомы технологических примесей (C, O, Н), атомы из подложки (Si). Методом наноиндентирования обнаружено, что на поверхности кремния формируется покрытие с повышенной нанотвердостью, значение которой превышает в 3–10 раз нанотвердость поверхности исходного кремния, а модуль Юнга для покрытий уменьшается по сравнению с модулем Юнга поверхности исходного кремния. При увеличении глубины индентирования нанотвердость и модуль Юнга покрытий, осажденных на кремний, приближаются к нанотвердости и модулю Юнга поверхности немодифицированного кремния.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/24452
Appears in Collections:2010, № 6

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
tul'ev_jelementnyj.pdf3.07 MBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.