Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/24452
Название: | Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo |
Авторы: | Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, С. М. |
Ключевые слова: | ионно-ассистируемое осаждение металлсодержащие покрытия резерфордовское обратное рассеяние компьютерное моделирование элементный состав кремний модуль Юнга Юнга, модуль |
Дата публикации: | 2010 |
Издательство: | БГТУ |
Библиографическое описание: | Тульев, В. В. Элементный состав, структура и физико-механические свойства поверхности кремния, модифицированной ионно-ассистируемым осаждением покрытий на основе Ti, Co, Zr и Mo / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Труды БГТУ. Сер. VI, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2010. – Вып. XVIII. – С. 91-95. |
Краткий осмотр (реферат): | На пластины кремния методом ионно-ассистируемого осаждения наносились металлсодержащие покрытия на основе Ti, Co, Zr и Mo. Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с компьютерным моделированием установлено, что на поверхности кремния формируются покрытия, содержащие атомы осажденного покрытия (Ti, Co, Zr и Mo), атомы технологических примесей (C, O, Н), атомы из подложки (Si). Методом наноиндентирования обнаружено, что на поверхности кремния формируется покрытие с повышенной нанотвердостью, значение которой превышает в 3–10 раз нанотвердость поверхности исходного кремния, а модуль Юнга для покрытий уменьшается по сравнению с модулем Юнга поверхности исходного кремния. При увеличении глубины индентирования нанотвердость и модуль Юнга покрытий, осажденных на кремний, приближаются к нанотвердости и модулю Юнга поверхности немодифицированного кремния. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/24452 |
Располагается в коллекциях: | 2010, № 6 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
tul'ev_jelementnyj.pdf | 3.07 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.