Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28130
Title: | Формирование покрытия на кремнии ионно-ассистированным нанесением Zr в условиях самооблучения |
Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович |
Keywords: | нанесение покрытий покрытия металлсодержащие формирование покрытий осаждение покрытий ионно-ассистированное нанесение кремний цирконий самооблучение |
Issue Date: | 2005 |
Citation: | Бобрович, О. Г. Формирование покрытия на кремнии ионно-ассистированным нанесением Zr в условиях самооблучения / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 6-й Международной конференции, 28-30 сентября 2005 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2005. - С. 282-284. |
Abstract: | В работе исследован состав, распределение элементов в покрытии нанесенном на пластины (100) Si при комнатной температуре, а также дефектообразование в кристаллах кремния при ионно-ассистированном нанесении металлсодержащего (Zr) покрытия в условиях самооблучения. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния (POP) ионов гелия, а повреждение структуры кремния - методом просвечивающей электронной микроскопии и методом POP в сочетании с каналированием ионов гелия. Уменьшение ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Zr+ от 10 кВ до 5 кВ приводит к увеличению толщины покрытия в - 1,5 раза при одинаковом времени модифицирования образцов кремния. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28130 |
Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Bobrovich_Formirovanie.pdf | 2.52 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.