Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36115| Название: | Application of DC Magnetron Sputtering for Creation of Gas-Sensitive Indium Oxide Thin Films and Their Properties |
| Авторы: | Luhin, V. Zarsky, I. Zhucowki, P. |
| Ключевые слова: | technology gas sensitive semiconductor structures oxide thin films sputtering of indium magnetron sputtering by magnetron |
| Дата публикации: | 2012 |
| Библиографическое описание: | Application of DC Magnetron Sputtering for Creation of Gas-Sensitive Indium Oxide Thin Films and Their Properties / V. Luhin, I. Zarsky, P. Zhucowki // Acta Physica Polonica A. - 2012. - Vol. 123, № 5. - P. 837-839 |
| Краткий осмотр (реферат): | In this paper the technology of gas sensitive semiconductor structures based on oxide thin films by DC magnetron sputtering of indium with the subsequent thermal oxidation is developed. Structure, surface morphology and chemical composition of the obtained films have been investigated by electron diffraction, scanning electron microscopy, and X-ray photoelectron spectroscopy. Conditions of In₂O₃ films formation with higt selectivity and sensitivity to NO₂ are established. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/36115 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 15.pdf | 464.47 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.